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华体汇-表面材料物性分析

华体汇-磁控溅射仪

编辑:华体汇体育正规中国有限公司时间:2022-06-08 14:39点击量:53
华体汇-磁控溅射仪
射频溅射仪
衬底规格型号:4'为核心,6'兼容。
射频溅射微滤厚均匀性要求:≤±5%。
靶位:4个。
極限压力:<6.6×10-6e Pa。
靶材规格型号:3英寸。
可射频溅射永磁铁氧体。
靶与样品间隔可调,且可以在30度角度内摆头。
配置load-lock,可放置5片6英寸样品,在高机械泵状况下,由电机马达分别传送一片样品,顺序射频溅射一片样品,逐一开展5片射频溅射表面的表层的镀膜。
样品台可升温至750度,可旋转。
全自动真空泵值控制模块。
气路:Ar、O2、N2。
射频电源:2个,每一个600W。
可调电源:2个,每一个1000W

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